Очистка помещения в пределах определенной области космических частиц пыли в воздухе, вреда газов, вредных бактерий, таких как выбросы загрязнений, а также температуры в помещении, чистоты, давления внутри удушья, скорости циклона, рассеянного циклона, шума, вибрации и освещения. оборудование, статический контроль в конкретной области спецификации, и дать специальную формулировку по пространству. То есть, как бы ни менялась внешняя воздушная среда, воздух может сохранять чистоту, температуру и влажность, давление и другие эксплуатационные характеристики изначально заданных норм.
Основная функция помещения для очистки заключается в контроле градусо-дней очистки, а также температуры и влажности воздуха, воздействию которого подвергаются продукты предприятия (такие как кремниевые чипы и т. д.), чтобы продукты предприятия могли производиться в хорошо обслуживаемом региональном помещении. экологическое пространство, известное как уборная. Согласно принятому соглашению степень чистоты в основном определяется количеством частиц в каждом кубическом метре воздуха, диаметр которых превышает норму деления. Другими словами, чистота заключается не в отсутствии немного пыли, а в очень малом количестве единиц. конечно норм
В соответствии со стандартными частицами пыли по сравнению с сухой пылью теперь это небольшая микроплоская ее микро, но для электронной оптической структуры даже небольшая пыль является очень большим неблагоприятным эффектом, поэтому в продуктах предприятия электронной оптической структуры
Раньше чистота была необходимой нормой.
Количество мелкой сухой пыли с размером частиц A 0,3 микрона контролируется на уровне ниже 3500 на кубический метр, что соответствует классу A международного кода чистоты. Текущая спецификация чистоты, используемая при производстве и переработке пыли на уровне стружки, относится к высокому сухому классу A, и такие высокие стандарты в основном используются
- Некоторые чипы более высокого класса производятся на . Количество мелкой пыли 0.5 мкм и ниже строго контролируется в пределах 1000 на кубический метр, что в промышленности принято считать тысячным сортом.
Состояния чистых помещений подразделяются на следующие три типа.
Состояние кондиционера: чистая ставка (оборудование), построенное и готовое к работе. Имеет все гарантии и функции, связанные с показателем чистоты. Однако в чистом тарифе нет ни операторов, ни производственного оборудования.
Статическая: все виды чистых помещений полностью функциональны, оборудование правильно установлено, и чистое помещение (оборудование) может использоваться или используется в соответствии с настройками, но в чистом помещении работа не ведется.
Динамический: чистая комната в обычном режиме, функция чистой комнаты завершена, оборудование и персонал, при необходимости, могут работать в обычном режиме.